基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置
基本信息
| 申请号 | CN201920106660.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209619436U | 公开（公告）日 | 2019-11-12 |
| 申请公布号 | CN209619436U | 申请公布日 | 2019-11-12 |
| 分类号 | C23C14/22（2006.01）I; C23C14/06（2006.01）I; H01L51/48（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 范利生; 孙璇; 瞿光胤; 田清勇; 范斌 | 申请（专利权）人 | 苏州协鑫能源技术发展有限公司 |
| 代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 苏州协鑫纳米科技有限公司;苏州协鑫能源技术发展有限公司;昆山协鑫光电材料有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区东长路88号N3栋1-3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置，其包括：薄膜生长机构，其具有用于容置钙钛矿前驱体液膜的结晶腔体；负压发生机构，其与结晶腔体连接，并至少用于在结晶腔体内形成负压环境；反溶剂容置机构，其至少用于容置反溶剂；加热机构，加热机构与反溶剂容置机构导热连接，并至少用于使反溶剂容置机构内的反溶剂气化；导气机构，其包括至少一条导气管，导气管分别与结晶腔体、反溶剂容置机构连接。本实用新型提供的基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置，结构简单，其能够制备形成大面积的钙钛矿薄膜，且制备形成的钙钛矿薄膜成膜均匀、质量高，适合规模化制备和生产。 |
