钙钛矿薄膜的涂布装置

基本信息

申请号 CN201710976767.1 申请日 -
公开(公告)号 CN107812673B 公开(公告)日 2020-01-31
申请公布号 CN107812673B 申请公布日 2020-01-31
分类号 B05C11/06;H01L31/18 分类 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 安扬;朱桂;田清勇;范斌 申请(专利权)人 苏州协鑫能源技术发展有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 苏州协鑫纳米科技有限公司;苏州协鑫能源技术发展有限公司
地址 215000 江苏省苏州市工业园区东长路88号N3栋1-3层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种钙钛矿薄膜的涂布装置,包括:涂布机构,用于对基体进行涂布,以形成液膜。吹气机构,用于对液膜进行吹气以形成钙钛矿薄膜。以及连接机构,用于将吹气机构连接于涂布机构的一侧。上述钙钛矿薄膜的涂布装置,能够完成钙钛矿薄膜涂布和薄膜吹干,是一体化涂布装置,故而可以使涂布好的钙钛矿液膜快速吹干,减少工序,降低成本。利用此装置制备的钙钛矿薄膜均匀。另外,可以根据实际需求制备大尺寸的钙钛矿薄膜。