一种基于集成电路进行多层并联的电容

基本信息

申请号 CN202210185563.7 申请日 -
公开(公告)号 CN114613863A 公开(公告)日 2022-06-10
申请公布号 CN114613863A 申请公布日 2022-06-10
分类号 H01L29/92(2006.01)I;H01L29/93(2006.01)I;H01L29/94(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 曾繁中;张汝京;邹才明 申请(专利权)人 宁波芯恩半导体科技有限公司
代理机构 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 315000浙江省宁波市北仑区柴桥街道万景山路213号G幢四层1-1
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于集成电路进行多层并联的电容,包括若干并联的电容和基板,所述电容设置于基板上方构成第一并联电容,所述电容设置于基板中构成第二并联电容;所述电容包括端电极、内电极、介质、金属通孔,所述端电极包括第一端电极和第二端电极,所述内电极包括若干层;所述第一金属通孔设置于第一端电极顶部,所述第二金属通孔设置于第二端电极顶部;本发明采用将基板做成PN结电容、MOS电容,接着做多层的大电容,集成在一起,同时改善高频低频特性;集成电路工艺机械应力很小,半导体平面工艺,均匀性好,性能稳定,多层并联,适合制作大电容,大的电容一般高频性能不好,而小容量电容则刚好相反,具有很好的高频性能。