一种基于集成电路进行多层并联的电容
基本信息
申请号 | CN202210185563.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114613863A | 公开(公告)日 | 2022-06-10 |
申请公布号 | CN114613863A | 申请公布日 | 2022-06-10 |
分类号 | H01L29/92(2006.01)I;H01L29/93(2006.01)I;H01L29/94(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 曾繁中;张汝京;邹才明 | 申请(专利权)人 | 宁波芯恩半导体科技有限公司 |
代理机构 | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 315000浙江省宁波市北仑区柴桥街道万景山路213号G幢四层1-1 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种基于集成电路进行多层并联的电容,包括若干并联的电容和基板,所述电容设置于基板上方构成第一并联电容,所述电容设置于基板中构成第二并联电容;所述电容包括端电极、内电极、介质、金属通孔,所述端电极包括第一端电极和第二端电极,所述内电极包括若干层;所述第一金属通孔设置于第一端电极顶部,所述第二金属通孔设置于第二端电极顶部;本发明采用将基板做成PN结电容、MOS电容,接着做多层的大电容,集成在一起,同时改善高频低频特性;集成电路工艺机械应力很小,半导体平面工艺,均匀性好,性能稳定,多层并联,适合制作大电容,大的电容一般高频性能不好,而小容量电容则刚好相反,具有很好的高频性能。 |
