用于金属掩膜板的金属箔材的制备方法及金属掩膜板的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111108320.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113909494A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113909494A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | B22F10/28（2021.01）I;B22F10/64（2021.01）I;B22F5/00（2006.01）I;B22F10/66（2021.01）I;B33Y10/00（2015.01）I;B33Y40/20（2020.01）I;B33Y80/00（2015.01）I;B33Y70/00（2020.01）I;C21D8/02（2006.01）I;C21D1/74（2006.01）I;C22C38/08（2006.01）I;C22C38/10（2006.01）I;C22C38/40（2006.01）I;C22C38/02（2006.01）I;C22C38/04（2006.01）I;C22C38/30（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I;B23P15/00（2006.01）I | 分类 | 铸造；粉末冶金; |
| 发明人 | 陈鼎国 | 申请（专利权）人 | 寰采星科技（宁波）有限公司 |
| 代理机构 | 宁波诚源专利事务所有限公司 | 代理人 | 冯晓兰;周银银 |
| 地址 | 315174浙江省宁波市海曙区高桥镇秀丰路八方集团园区A幢3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于金属掩膜板的金属箔材的制备方法，其特征在于包括以下制备步骤：1）金属粉末配备：所述金属粉末为不锈钢、镍合金、钛合金、铝合金、铁镍合金、铁镍锰、铁镍钴合金、铁钴铬中的一种；2）激光熔敷：a、先铺设一层金属粉末在基板上；b、激光熔敷后在熔覆层上方再铺设一层金属粉末，再激光熔敷；重复b过程加工成厚度5μm～5mm的金属箔坯；每层金属粉末的铺设厚度为0.8～300μm，激光熔敷时所需激光能量为50～500W，激光能量密度为10～350J/mm3，扫描速度为50～5000mm/秒；3）第一次热处理：在干燥的惰性氛围或者还原氛围或者真空环境下对得到的金属箔坯进行热处理，然后将金属箔坯与基板分离、绕卷。 |
