一种光刻胶收集杯清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202122199116.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215696561U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215696561U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | B08B9/093（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 金浩天;孙游 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王法男 |
| 地址 | 200120上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路75号10幢505室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种光刻胶收集杯清洗装置，包括可旋转的旋转台、清洗盘和喷嘴；清洗盘设置在旋转台上，旋转台旋转时带动清洗盘转动，清洗盘内设有通道，所述清洗盘的侧壁沿转动方向设有多个通孔，所述清洗盘的底部沿转动方向设有多个斜孔，所述斜孔的底部出口朝向所述清洗盘的外侧倾斜，所述通孔和所述斜孔分别与所述通道连通；喷嘴设置在所述清洗盘的下方，用于向所述通道内喷射清洗液。本实用新型通过在清洗盘的侧面设置用于喷射清洗液的通孔，同时在清洗盘的底部设置用于喷射清洗液的斜孔，可实现在收集杯的不同高度向收集杯内壁喷射清洗液，实现自动清洗收集杯内壁残留的光刻胶的同时，提高清洗效果且节省清洗时间。 |
