一种晶圆机台温控系统
基本信息
| 申请号 | CN201721442620.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207338326U | 公开（公告）日 | 2018-05-08 |
| 申请公布号 | CN207338326U | 申请公布日 | 2018-05-08 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨小雄 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 地址 | 201315 上海市浦东新区沈梅路600号4栋1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆机台温控系统，为晶圆机台冷却，包括：循环泵，通过机台进水管与机台出水管与晶圆机台连通，以维持晶圆机台温度，循环泵的控制模块与机台通讯连接，冷却装置，通过冷却水进水管与冷却水出水管与循环泵连通，以冷却循环泵，第一气动阀与第二气动阀，分别排布在冷却水进水管以及冷却水出水管上，进气管，其中通有空气，且进气管通过电磁阀与第一气动阀与第二气动阀连通，电磁阀同循环泵的控制模块通讯连接；其中，当循环泵的断电信号或故障信号传输至机台与电磁阀时，机台停止运转，同时电磁阀控制进气管开启，空气进入第一气动阀与第二气动阀使其关闭。可以保持制造过程中晶圆机台的温度。 |
