一种气液分离装置及涂胶显影机
基本信息
| 申请号 | CN202122128113.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215691851U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215691851U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | B01D19/00（2006.01）I;C02F1/20（2006.01）I;G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 金浩天;孙游 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王法男 |
| 地址 | 200120上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路75号10幢505室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种气液分离装置及涂胶显影机。气液分离装置包括外筒、分离罩、分离筒、进液管、连接盒、排气筒、第一阀门和第二阀门。外筒具有排气口和排水口，分离罩将外筒的内腔上下分隔为第一腔体和第二腔体；进液管用于将气液混合物输入至第一腔体。分离筒将第二腔体分为外腔和内腔，排气口与第一腔体相通，排水口与内腔相通。第一腔体和外腔通过第一连通口相通，外腔和内腔通过第二连通口相通，内腔和第一腔体通过第三连通口相通。进液管的下端位于第一腔体内、且低于排气口。排气口通过连接盒与排气筒相通，第一阀门和第二阀门分别用于自动和手动开闭排气筒。涂胶显影机通过上述气液分离装置排放废气废液。本申请气液分离效率较高。 |
