一种显影液供应系统
基本信息
| 申请号 | CN201721404018.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207318937U | 公开（公告）日 | 2018-05-04 |
| 申请公布号 | CN207318937U | 申请公布日 | 2018-05-04 |
| 分类号 | G03F7/30 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 杨小雄 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 地址 | 201315 上海市浦东新区沈梅路600号4栋1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种显影液供应系统，为显影机台供应显影液，包括：控制装置、并联的第一显影液供液管路与第二显影液供应管路；其中，第一显影液供应管路包括：显影液储罐，盛装有显影液；缓冲罐，通过管路连通至显影液储罐的底部进气管，连通至显影液储罐的上部以通入氮气，以将显影液压入缓冲罐内；过滤器，通过管路与缓冲罐连通；喷嘴，位于显影机台内部，且通过管路与过滤器连通；以及控制阀，设置在过滤器与喷嘴之间的管路上控制开闭；其中，两显影液供液管路的配置相同，控制装置分别同第一显影液供液管路与第二显影液供应管路的控制阀通讯连接以控制开闭。可以单个显影机台输出至少两种显影液。 |
