一种废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机
基本信息
| 申请号 | CN202122151968.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215729282U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215729282U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 金浩天;孙游 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王法男 |
| 地址 | 200120上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路75号10幢505室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机。该废弃光刻胶排放装置包括：积液盒，所述积液盒内设置有用于装设废弃光刻胶的腔室，所述积液盒上设置有进液口和排液口，所述进液口与所述腔室连通，用于收集所述废弃光刻胶，所述排液口与所述腔室连通，用于排出所述废弃光刻胶；排液管道，所述排液管道与所述排液口连通，用于排放所述废弃光刻胶；若干个支管，设置在所述排液管道的侧壁上，若干个所述支管分别与所述排液管道连通，用于输送光刻胶溶解剂。本实用新型中，通过设置支管喷洒溶解剂对排液管道中的废弃光刻胶进行冲洗，避免废弃光刻胶堵塞排放管道。 |
