一种晶圆处理装置用箱体及晶圆处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202122123919.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215731613U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215731613U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 金浩天;孙游 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王法男 |
| 地址 | 200120上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路75号10幢505室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种晶圆处理装置用箱体及晶圆处理装置，包括外壳、安装支架、阀门和排气管；外壳具有安装腔、排气通道、第一通气口。排气通道集成设置于外壳，安装腔用于安装多个晶圆处理单元，第一通气口连通安装腔和排气通道、用于连接至晶圆处理单元的排气口，排气通道连接至排气管，阀门设置于排气管上，排气管连通至外部空间或气体处理装置。外壳包括第一侧板、第二侧板、背板，共同构成槽状的安装腔；第一侧板、第二侧板、背板中至少一个具有中空结构，构成排气通道。晶圆处理装置包括多个晶圆处理单元和前述的晶圆处理装置用箱体。本申请通过集成设置的排气通道，结构紧凑、安装方便可靠、适应性好，晶圆处理装置布置简单、扩展方便。 |
