一种大行程MEMS探针器件及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201510265023.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105366622A | 公开（公告）日 | 2016-03-02 |
| 申请公布号 | CN105366622A | 申请公布日 | 2016-03-02 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 王文辉;钟桂雄;李四华;施林伟;李维 | 申请（专利权）人 | 深圳市盛喜路科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区彩田路西红荔路南中银花园办公楼A楼22A、B、Ca、Cb、D、E-E8 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种大行程的MEMS探针器件及其制作方法，包括上下贴合的上衬底（1）和下衬底（2）、电极（5）、弹性折叠梁（6）和探针（7），形成尺寸略大于被其所包围的探针外形尺寸的密封探针通道（3）以及驱动腔体（4），具有与电极（5）和/或驱动腔体（4）对应的通孔，所述探针（7）的两端分别暴露于驱动腔体（4）内及之外的工作环境中；上下衬底之间密封注入工作介质，通过探针两侧环境的压力差实现驱动。本发明采用了采用液压/气压驱动探针的方式，使探针的行程与驱动力无关，且行程和驱动力不再耦合，因此可同时提供超大行程和大驱动力。同时，由于采用MEMS加工工艺和SOI硅片，大大提高了器件的精度和重复性。 |
