一种MEMS可调谐光学驱动器
基本信息
| 申请号 | CN201420739724.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204462538U | 公开（公告）日 | 2015-07-08 |
| 申请公布号 | CN204462538U | 申请公布日 | 2015-07-08 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01)I;G02B6/26(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 李四华;王文辉;林沁;李维;施林伟 | 申请（专利权）人 | 深圳市盛喜路科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区彩田路西红荔路南中银花园办公楼A栋22A.B.Cb.Ca.D.E-E-8 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种MEMS可调谐光学驱动器，包括基片、主变形梁、第一变形梁、第二变形梁、驱动电极、微镜面、散热框架结构、散热折叠梁和外部固定点，第一变形梁和第二变形梁位于主变形梁两端，与驱动电极连接，为主变形梁提供底部变形支撑；散热框架结构与主变形梁连接但与微镜面隔离，折叠梁散热结构与散热框架及外部固定点相连。本实用新型的热驱动结构设计新颖，采用了直拉直压的变形梁设计结构，对主热变形梁进行了支撑，同时避免了传统弯曲梁的不稳定性，并实现更大的驱动位移。同时，采用散热框架及散热折叠梁的设计使得微镜面不会直接与变形梁接触，降低变形梁处的热变化对微镜面的温度相关影响，增加了芯片及光衰减器的器件可靠性。 |
