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一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法

基本信息

申请号 CN201910694877.8 申请日 -
公开（公告）号 CN110455725B 公开（公告）日 2021-12-07
申请公布号 CN110455725B 申请公布日 2021-12-07
分类号 G01N21/31（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 王建江;王毅;高卫;李召永;赵丽霞;吴会旺;陈秉克 申请（专利权）人 河北普兴电子科技股份有限公司
代理机构 石家庄国为知识产权事务所 代理人 李坤
地址 050200河北省石家庄市鹿泉经济开发区昌盛大街21号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法。所述评价方法包括如下步骤：取高纯碳化硅粉料，采用测色装置测量其明度值L及色度值a和b；将所得L值、a值和b值代入计算品质因数Δ。本发明基于分光测色原理，并根据高纯碳化硅粉料中各种杂质所导致的碳化硅粉料表观颜色的差异，创造性地构建了品质因数的计算公式，综合反映了碳化硅粉料中N、Al和B等杂质的含量以及碳包裹体的含量，并能半定量的分析碳化硅粉料中的氮含量的高低。品质因数越大，表明碳化硅粉料的品质越好，a值越趋近0，表明氮含量越低。采用本发明提供的品质因数和测量所得a值可以对高纯碳化硅粉料的品质与氮含量进行快速有效的评估分级。