一种CVD机台石英盘固定装置
基本信息
| 申请号 | CN202121040985.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215163112U | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN215163112U | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 魏桂忠;霍晓阳;侯志义 | 申请（专利权）人 | 河北普兴电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人 | 李荣文 |
| 地址 | 050200河北省石家庄市鹿泉经济开发区昌盛大街21号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种CVD机台石英盘固定装置，属于CVD机台设备技术领域，该CVD机台石英盘固定装置用于固定位于钟罩中心位置的石英盘，包括前挡板和后挡板，前挡板固定于石英热壁上，且位于所述石英盘一侧，前挡板一侧设有与石英盘外边缘匹配的第一限位圆弧；后挡板固定于石英热壁上，且位于所述石英盘远离所述前挡板的一侧，后挡板一侧设有与石英盘外边缘匹配的第二限位圆弧；第一限位圆弧和第二限位圆弧用于限制石英盘移动。本实用新型提供的CVD机台石英盘固定装置，第一限位圆弧和第二限位圆弧夹住石英盘，加上石英热壁压在前挡板和后挡板上，使石英盘稳定在安装位置，可消除剐蹭基座问题，提高CVD多片机台的稳定性。 |
