一种薄膜压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN202110069731.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112924056A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112924056A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | G01L1/14;A61B5/03;A61B5/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 段晓东;张少邦;刘雷 | 申请（专利权）人 | 上海安翰医疗技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏胜 |
| 地址 | 200120 上海市浦东新区自由贸易试验区金穗路2218号1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种薄膜压力传感器，所述薄膜压力传感器包括：电路层，所述电路层包括一个或多个传感元件；功能膜层；结合层；其中，所述电路层与所述功能膜层通过所述结合层贴合。本申请中，该薄膜压力传感器的电路层、结合层和功能膜层三者组合形成了一个电容，功能膜层在受到外界压力时，外界压力变化使上述功能膜层朝向电路层变形，功能膜层与电路层的传感元件接触，使得传感元件的电容值变化，进而通过标定电容值和外界压力值的对应关系来表示压力大小。外界压力消失时，功能膜层能够恢复原始状态，从而能够多次测量，并使得薄膜传感器易于进行压力检测且具有高灵敏度。 |
