一种全自动硅片插片机
基本信息
| 申请号 | CN201610467427.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107546295A | 公开（公告）日 | 2018-01-05 |
| 申请公布号 | CN107546295A | 申请公布日 | 2018-01-05 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李毛学 | 申请（专利权）人 | 昆山安谷自动化设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海宏京知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 昆山安谷自动化设备有限公司 |
| 地址 | 215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇城北中环路169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种全自动硅片插片机，其包括机架、花篮输送装置和分片插片装置；花篮输送装置包括空花篮输送线、负载花篮输送线和机械臂，空花篮输送线和负载花篮输送线相对设置于机架的两侧，机械臂设于机架上部且可自由移动；分片插片装置包括分片水槽、硅片传送带，分片水槽旁设有回流槽，分片水槽和回流槽内设有磁力泵循环系统，分片水槽内设有主槽入口，主槽入口的底部设有输送花篮的底部流水线，底部流水线的末端设有提升治具，提升治具的上部设喷水装置，硅片传送带的另一端设有由机械臂控制上下移动的插片夹具。本发明的有益效果为：其所有动作均通过设备自动完成，自动化程度高、生产效率高、硅片不易发生破损或其他故障。 |
