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一种四氯化硅供料系统

基本信息

申请号 CN202023205862.8 申请日 -
公开（公告）号 CN214306525U 公开（公告）日 2021-09-28
申请公布号 CN214306525U 申请公布日 2021-09-28
分类号 F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;C01B33/107（2006.01）I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 彭鑫;罗全安;何寿林 申请（专利权）人 武汉新硅科技潜江有限公司
代理机构 武汉江楚智汇知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 矫娅琳
地址 433100湖北省潜江经济开发区盐化一路西37号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种四氯化硅供料系统，其不同之处在于：其包括供氮部、供料部、车间终端设备、排压部、及排污部；供氮部包括氮气供应装置及供氮管道；供料部包括原料罐、屏蔽泵、缓冲罐、缓冲供料管道、及车间供料管道，原料罐及缓冲罐分别通过供氮管道与氮气供应装置连通，原料罐、屏蔽泵、及缓冲罐通过缓冲供料管道依次连通，缓冲罐与车间终端设备通过车间供料管道连通，车间供料管道上设置有过滤器；排压部包括碱水池及排压管，原料罐及缓冲罐分别通过排压管与碱水池连通；排污部包括废料罐及排污管道，原料罐及缓冲罐分别通过排污管道与废料罐连通。本实用新型对车间终端设备平稳供料。