高纯光纤用四氯化硅生产过程中尾气回收循环利用装置
基本信息
申请号 | CN202023111861.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214287404U | 公开(公告)日 | 2021-09-28 |
申请公布号 | CN214287404U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
分类号 | B01D53/00(2006.01)I;B01D5/00(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 帅大虎;罗全安;何寿林 | 申请(专利权)人 | 武汉新硅科技潜江有限公司 |
代理机构 | 武汉江楚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 邓寅杰 |
地址 | 433100湖北省潜江市经济开发区盐化一路西37号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种高纯光纤用四氯化硅生产过程中尾气回收循环利用装置,包括通过管路顺次连接的尾气分配台、缓冲罐、隔膜压缩机、气液分离罐和尾气贮罐;尾气分配台设有尾气入口,尾气贮罐设有尾气出口,尾气从尾气分配台的尾气入口进入,依次通过尾气分配台、缓冲罐、隔膜压缩机、气液分离罐和尾气贮罐,从尾气贮罐的尾气出口流出。本实用新型尾气回收循环利用装置可以回收尾气中夹带的重组分氯硅烷,减少尾气的处理量。同时氮气以及轻组分氯硅烷储存在尾气贮罐,可以补充到原料罐车,减少原料罐车氮气的用量。 |
