电子级六氯二硅烷的生产系统
基本信息
| 申请号 | CN202023071361.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214270231U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214270231U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | C01B33/107（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 何寿林;罗全安 | 申请（专利权）人 | 武汉新硅科技潜江有限公司 |
| 代理机构 | 武汉江楚智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邓寅杰 |
| 地址 | 433100湖北省潜江市经济开发区盐化一路西37号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种电子级六氯二硅烷的生产系统，包括预处理系统和提纯系统，预处理系统对原料进行粗提，提纯系统将经预处理系统粗提后的粗料提纯为电子级六氯二硅烷。预处理系统包括第一蒸馏塔、第二蒸馏塔和第三蒸馏塔，提纯系统包括脱重组分塔、脱轻组分塔、脱铝塔和高纯塔。使用本实用新型生产系统生产电子级六氯二硅烷，能生产出纯度99.95％以上，以金属元素含量计算纯度达到99.999‑99.99999％的高纯产品。 |
