连续精馏法生产电子级六氯二硅烷的方法
基本信息
| 申请号 | CN202011501755.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112479213A | 公开（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申请公布号 | CN112479213A | 申请公布日 | 2021-03-12 |
| 分类号 | C01B33/107(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 何寿林;罗全安 | 申请（专利权）人 | 武汉新硅科技潜江有限公司 |
| 代理机构 | 武汉江楚智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邓寅杰 |
| 地址 | 433100湖北省潜江市经济开发区盐化一路西37号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种连续精馏法生产电子级六氯二硅烷的方法，包括以下步骤：S1：以多晶硅废料为原料生产六氯二硅烷粗料的步骤，所述六氯二硅烷粗料纯度75‑85％；S2：以六氯二硅烷粗料为原料生产电子级六氯二硅烷的步骤。使用本发明方法生产电子级六氯二硅烷，能生产出纯度99.95％以上，以金属元素含量计算纯度达到99.999‑99.99999％的高纯产品，达到欧美市场的要求，且工艺简单。 |
