一种半导体级单晶硅晶棒定向测试装置
基本信息
| 申请号 | CN201911194577.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111059992B | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN111059992B | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | G01B5/24（2006.01）I;C30B33/06（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C23C18/34（2006.01）I;C22C1/02（2006.01）I;C22C1/06（2006.01）I;C22C21/08（2006.01）I;C22C21/10（2006.01）I;C22F1/047（2006.01）I;C22F1/053（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 梁凤丽 | 申请（专利权）人 | 江苏明纳半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 国红 |
| 地址 | 224700 江苏省盐城市建湖县高新区经六路智慧产业园A区3#楼3-4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体级单晶硅晶棒定向测试装置，包括柜体，所述柜体底面靠近四个顶角的位置处设置有移动滚轮，所述柜体前端面靠近顶部的位置处设置有书写板，所述柜体顶面靠近左、右两侧的位置处设置有支撑块，所述支撑块顶面之间靠近顶部的位置处设置有固定横杆，所述固定横杆中间的位置处设置有测量装置；本装置可以更换测量盖板和辅助盖板，来满足不同直径的硅晶棒，同时在测量的过程中只需观察连接板的状态，操作比较简单，同时方便记录，在底部设置有移动滚轮，方便移动，本装置的结构较为简单，成本较为低廉，适合推广使用。所述固定横杆由耐磨铝合金材料按常规工艺制备而成，具有较好的硬度、耐磨性等优点。 |
