一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201310695413.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104711504B | 公开（公告）日 | 2018-07-13 |
| 申请公布号 | CN104711504B | 申请公布日 | 2018-07-13 |
| 分类号 | C23C4/134;C23C14/48;C23C14/18 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王文东;夏洋;李楠 | 申请（专利权）人 | 北京美桥电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 | 代理人 | 刘杰 |
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体刻蚀机内衬及石英表面防蚀处理技术领域，具体涉及一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：步骤（1），选择碳化硼粉末，并将碳化硼粉末送入等离子喷涂设备；步骤（2），对待喷涂的石英基材的表面进行Ti离子注入处理，然后使用丙酮和无水乙醇对石英基材的表面进行清洗；步骤（3），通过等离子喷涂设备在石英基材的表面进行等离子喷涂，制备出碳化硼涂层。本发明在石英基材表面进行Ti离子注入处理，增大了石英基材表面的粗糙度，从而可以提高碳化硼涂层与石英基材之间的界面结合强度。 |
