一种应用于铝基基材的Y3Al5O12涂层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201410590041.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105624602B | 公开（公告）日 | 2018-11-02 |
| 申请公布号 | CN105624602B | 申请公布日 | 2018-11-02 |
| 分类号 | C23C4/12;C23C4/10 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王文东;夏洋;刘金虎 | 申请（专利权）人 | 北京美桥电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 | 代理人 | 刘杰 |
| 地址 | 102202 北京市昌平区马池口镇北京水泥厂北侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体刻蚀工艺腔室内表面防蚀处理技术领域，具体涉及一种应用于铝基基材的Y3Al5O12涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：选择Y3Al5O12粉末；通过等离子喷涂设备在待喷涂的铝基基材的表面喷涂碳化铬或氮化铬涂层；通过等离子喷涂设备在所述碳化铬或氮化铬涂层的表面喷涂Y3Al5O12，制备出Y3Al5O12涂层。本发明在铝基基材和Y3Al5O12涂层之间加入碳化铬或氮化铬的粘结相，可以在Y3Al5O12涂层与铝基基材之间起到很好的过渡作用，有效缓解Y3Al5O12涂层与铝基基材的界面应力，增大界面结合强度。 |
