一种压电谐振器
基本信息
| 申请号 | CN201721512611.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207339804U | 公开（公告）日 | 2018-05-08 |
| 申请公布号 | CN207339804U | 申请公布日 | 2018-05-08 |
| 分类号 | H03H9/15;H03H3/04;H03H3/10 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 何军;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人 | 安徽云塔电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 安徽云塔电子科技有限公司 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F1栋22层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种压电谐振器。其中，压电谐振器包括：衬底，所述衬底的上表面形成有一凹槽；第一压电层，覆盖于所述衬底的上表面以及所述凹槽的开口，以使所述凹槽与所述第一压电层形成空腔；第一电极和温度补偿层，设置在所述第一压电层远离所述衬底的一侧，在垂直于所述衬底的方向上，所述第一电极在所述衬底上的投影位于所述凹槽所在的区域。本实用新型实施例通过在衬底的上表面形成有一凹槽，使凹槽与第一压电层形成空腔，可以有效避免了声波能量泄漏到衬底中，降低了声波能量在衬底中的损耗，可得到高Q值的压电谐振器；并且设置的温度补偿层的投影位于空腔的区域内，可以有效改善温度补偿效率。 |
