首页/ 安徽云塔电子科技有限公司/ 专利详情

一种压电谐振器和压电谐振器的制备方法

基本信息

申请号 CN201711121168.8 申请日 -
公开（公告）号 CN107733395A 公开（公告）日 2018-02-23
申请公布号 CN107733395A 申请公布日 2018-02-23
分类号 H03H9/15;H03H3/04;H03H3/10 分类 基本电子电路;
发明人 何军;其他发明人请求不公开姓名 申请（专利权）人 安徽云塔电子科技有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 安徽云塔电子科技有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F1栋22层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例公开了一种压电谐振器和压电谐振器的制备方法。其中，压电谐振器包括：衬底，所述衬底的上表面形成有一凹槽；第一压电层，覆盖于所述衬底的上表面以及所述凹槽的开口，以使所述凹槽与所述第一压电层形成空腔；第一电极和温度补偿层，设置在所述第一压电层远离所述衬底的一侧，在垂直于所述衬底的方向上，所述第一电极在所述衬底上的投影位于所述凹槽所在的区域。本发明实施例通过在衬底的上表面形成有一凹槽，使凹槽与第一压电层形成空腔，可以有效避免了声波能量泄漏到衬底中，降低了声波能量在衬底中的损耗，可得到高Q值的压电谐振器；并且设置的温度补偿层的投影位于空腔的区域内，可以有效改善温度补偿效率。