一种双腔体式废气处理设备及其多入口管道切换系统
基本信息
申请号 | CN201921060842.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210197003U | 公开(公告)日 | 2020-03-27 |
申请公布号 | CN210197003U | 申请公布日 | 2020-03-27 |
分类号 | F17D1/02;F17D3/01 | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
发明人 | 张伟明;许明 | 申请(专利权)人 | 上海盛剑半导体科技有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孙晓红 |
地址 | 201000 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路925号B区4幢J11226室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种多入口管道切换系统,用于双腔式废气处理设备,包括用以连接第一腔体的第一管道和第三管道,还包括用以连接第二腔体的第二管道和第四管道;第一管道中设有第一三通阀,第二管道中设有第二三通阀,第一三通阀与第二三通阀通过第一连接管道连接;第三管道中设有第三三通阀,第四管道中设有第四三通阀,第三三通阀与第四三通阀通过第二连接管道连接。本实用新型还公开一种包括上述多入口管道切换系统的双腔式废气处理设备。本实用新型所提供的多入口管道切换系统结构简单,安装方便。 |
