一种机台防过腐装置
基本信息
| 申请号 | CN202120358242.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215404541U | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN215404541U | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | C23F4/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孙人杰;王友伟 | 申请（专利权）人 | 爱特微（张家港）半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王巍巍 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港经济技术开发区新丰东路3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种机台防过腐装置，其技术方案要点是：包括工作腔，所述工作腔上部安装有气泵腔和控制器，所述气泵腔上安装有气泵电机，所述气泵电机通过输风管连接有电磁阀，所述工作腔内安装有横杆和竖杆，所述横杆的顶部连接有连接管，所述横杆和所述竖杆上均设有若干组气流导口，所述竖杆的底部连接有支撑底座，所述支撑底座内部连接有调节柱，所述调节柱上焊接有调节螺环，所述调节柱的顶部设有第一螺纹部，所述第一螺纹部连接在所述竖杆的内部，所述第一螺纹部的顶端连接有密封橡胶垫；利用装置可以对工作腔内部进行氮气冲入，并且便于对防腐架进行支撑调节，以及能够便于对氮气进行输送。 |
