单晶硅埚底料中石英与硅料的分离方法

基本信息

申请号 CN201110178112.2 申请日 -
公开(公告)号 CN102241401B 公开(公告)日 2013-03-20
申请公布号 CN102241401B 申请公布日 2013-03-20
分类号 C01B33/037(2006.01)I;B03D1/02(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 秦海滨;张志成;王柳英;毕梅芳;冯利岗 申请(专利权)人 山西晶都太阳能电力有限公司
代理机构 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 代理人 山西晶都太阳能电力有限公司
地址 030032 山西省朔州市应县二环路旧政府二栋三排十一号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及单晶硅埚底料中石英与硅料的分离方法,属于半导体分离技术领域;所要解决的技术问题是提供了一种耗时短,耗能少的单晶硅埚底料中石英与硅料的分离方法;采用的技术方案为:第一步、将要分离的埚底料破碎至粒径不超过10mm;第二步、用50℃的纯水配制重量百分比为10%的碱性溶液50L;第三步、恒温水浴下,将破碎好的埚底料10kg倒入第二步中配制好的50L碱性溶液中,搅拌;第四步、在所述碱性溶液中加入起泡剂,加入量为10ml;第五步、向所述碱性溶液中鼓入空气,使硅料随着其表面产生的气泡浮出液面,收集浮出的硅料;第六步、收集完浮出的硅料后,回收底部的石英;本发明用于分离单晶硅埚底料中的石英与硅料。