一种阀门密封体表面六硼化镧复合碳薄膜及其高结合力沉积方法
基本信息
| 申请号 | CN202010811283.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111926288B | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN111926288B | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | C23C14/02（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张斌;毛金银;贾倩;毛春龙;陈善俊 | 申请（专利权）人 | 江苏金晟元特种阀门股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京天盾知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁桂红 |
| 地址 | 226671江苏省南通市海安市曲塘镇双楼路62号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及真空镀膜和氯碱化工技术领域，具体涉及一种阀门密封体表面六硼化镧复合碳薄膜及其高结合力沉积方法，以阀门密封体表面为基底，自下而上依次包括基底氮化层、钛粘结层、钛硅层、氮化钛硅层、六硼化镧层和六硼化镧复合碳薄膜。本发明采用钛、钛硅及六硼化镧作为靶材，甲烷或者乙炔作为碳源，沉积六硼化镧复合碳薄膜；本发明由于结合力高功率脉冲磁控溅射的高离化率和硅钛金属的高硬度及强韧性，获得的薄膜在阀门密封面基底上不仅具有高的结合力，更能耐频繁开启冲击，同时保证了耐磨耐蚀性能。 |
