一种连续式化学气相沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN202023061490.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214991845U | 公开（公告）日 | 2021-12-03 |
| 申请公布号 | CN214991845U | 申请公布日 | 2021-12-03 |
| 分类号 | C23C16/54（2006.01）I;C23C16/56（2006.01）I;C23C16/02（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 申富强;王景珍 | 申请（专利权）人 | 上海骐杰碳素材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海创开专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汪发成 |
| 地址 | 201500上海市金山区廊下镇廊华公路95弄64号110室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种连续式化学气相沉积炉，涉及复合材料制造设备领域。本实用新型沉积炉内依次设置有准备区、沉积区和冷却区；沉积区包括升降台、至少一个旋转承载台、与旋转承载台相对应的加热器；准备区、沉积区和冷却区外部分别安装有第一密封门、第二密封门、第三密封门。本实用新型能够做到同一个沉积炉同时有三个制备件分别于三个区内进行预热、沉积和冷却，并依次连续性的转换，大大加速了单个沉积炉的复合材料的制备效率，节约了时间；沉积区结构设计使装载碳纤维预制体的承载板能够于加热制备过程中进行旋转，保持内部混合气体和加热温度对其表面作用的均匀性，提高了碳纤维预制体制备成品的品质。 |
