一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN202023071154.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215050682U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215050682U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I;C04B35/83（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 申富强;王景珍 | 申请（专利权）人 | 上海骐杰碳素材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海创开专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汪发成 |
| 地址 | 201500上海市金山区廊下镇廊华公路95弄64号110室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种具有多轴旋转式承载结构的沉积炉，涉及碳纤维复合材料制造设备领域。本实用新型包括至少两个加热器以及与加热器相对应的安装于承载台上的至少两个旋转承载板；加热器采用圆形整体加热器、圆形拼接加热器、方形整体加热器或方形拼接加热器中任意一种；加热器材质采用石墨、碳/碳或钨钼材料；承载台的周侧壁上安装有与炉体内侧壁挤压密封的密封圈。本实用新型使装载碳纤维预制体的旋转承载板能够于加热制备过程中进行旋转，保持内部混合气体和加热温度对其表面作用的均匀性，提高了碳纤维预制体制备成品的品质，确保碳源气体在炉腔底部开始充分裂解挥发，提高产品的整体沉积效果。 |
