MEMS设备及其制备方法、电子设备
基本信息
| 申请号 | CN201980086980.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113348145A | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN113348145A | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | B81B3/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 罗松成;詹竣凯;游博丞;谢冠宏;方维伦 | 申请（专利权）人 | 共达电声股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 史治法 |
| 地址 | 261200山东省潍坊市坊子区凤山路68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种MEMS设备、包括该MEMS设备的电子设备以及该MEMS设备的制备方法，该MEMS设备的薄膜结构（10）包括位于中间区域的具有第一刚性的第一刚性区域（110）和位于边缘区域的具有第二刚性的第二刚性区域（120），第一刚性小于第二刚性，第二刚性区域包括至少一个从薄膜结构（10）表面向外延伸的凸起（122）。MEMS设备的制备方法包括提供基板（210）；在基板（210）上形成沟槽（212）；提供薄膜结构（10）。该MEMS设备通过增加支撑结构扩孔时的制程裕度，不会因为扩孔误差导致薄膜结构的第一刚性区域（110）的刚性发生实质性变化，从而避免影响MEMS设备的性能。 |
