一种气吸附滑台驱动自动升降机构

基本信息

申请号 CN202010575165.7 申请日 -
公开(公告)号 CN111779943A 公开(公告)日 2020-10-16
申请公布号 CN111779943A 申请公布日 2020-10-16
分类号 F16M11/24(2006.01)I 分类 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热;
发明人 王曰明;宋述锡;梁邦远;李明富;孙佳卓;王海川;宁宇航 申请(专利权)人 青岛前哨精密仪器有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 266000山东省青岛市高新区锦暄路61号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及气吸附滑台技术领域,且公开了一种气吸附滑台驱动自动升降机构,包括测量滑台,所述测量滑台的左侧面固定连接有弹性连接机构,所述弹性连接机构远离所述测量滑台的一端固定连接有驱动滑台,所述驱动滑台的左侧面固定连接有微分头调节,所述测量滑台的外表面固定连接有两个固定支架,所述固定支架的外表面安装有电机连接板。该气吸附滑台驱动自动升降机构,驱动滑台与测量滑台支架的弹性连接机构通过弹簧连接,所以驱动滑台与测量滑台相当于有一定刚性的柔性连接。当进行自动测量时,减少驱动滑台对测量滑台的影响,提高了测量准确性,驱动滑台自动升降机构的设计、实现了手自动操作的快速切换,可快速实现手动、自动的切换。