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一种光学元件光学表面面形扫描用位移台

基本信息

申请号 CN201921212988.2 申请日 -
公开（公告）号 CN210268551U 公开（公告）日 2020-04-07
申请公布号 CN210268551U 申请公布日 2020-04-07
分类号 G01B11/24;G01B11/02 分类 测量；测试;
发明人 王曰明;李明富;梁邦远;王世雷;孙佳卓 申请（专利权）人 青岛前哨精密仪器有限公司
代理机构 北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 张晓
地址 266000 山东省青岛市高新区锦暄路61号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种光学元件光学表面面形扫描用位移台，包括基座，基座的左、右两端垂直固定设置有立柱，两个立柱的顶部垂直固定设置有横梁；基座的上表面设置有平台；平台的底部设置有第一方向标尺光栅，基座上固定设置有第一光栅读数头；横梁的前端面上设置有第一滑台和第二滑台；横梁的前端面设置有第二方向标尺光栅，第一滑台上固定设置有第二光栅读数头；第二滑台上固定设置有第二光栅读数头。本实用新型中平台、第一滑台、第二滑台均由直线电机控制滑动，直线电机的传动精度高、动态响应快、稳定性高，同时在各个相应的光栅尺位移传感器的配合下，能够通过位移反馈出待检测光学元件的相应位置，且定位精度较高。