一种超厚石墨膜卷材治具
基本信息
申请号 | CN202023224936.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214653669U | 公开(公告)日 | 2021-11-09 |
申请公布号 | CN214653669U | 申请公布日 | 2021-11-09 |
分类号 | C01B32/205(2017.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 徐世中;林剑锋 | 申请(专利权)人 | 碳元科技股份有限公司 |
代理机构 | 常州市权航专利代理有限公司 | 代理人 | 赵慧 |
地址 | 213022江苏省常州市武进经济开发区兰香路7号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型属于石墨膜卷材生产技术领域,具体涉及一种超厚石墨膜卷材治具,包括:外层坩埚;以及石墨发热杆,位于外层坩埚的中心处;所述超厚石墨膜卷材治具,通过在所述外层坩埚的中心处设置石墨发热杆,以使超厚石墨膜卷材治具在外层坩埚向中心处发热的同时,位于其中心处的石墨发热杆从中心处向外层发热,以在超厚石墨膜卷材治具内形成均匀温场。 |
