一种用于532nm的偏振分束光栅
基本信息
| 申请号 | CN202021181134.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212321886U | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN212321886U | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 张新彬;梁万国;陈怀熹;冯新凯;李广伟;古克义 | 申请（专利权）人 | 福建中科晶创光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 福州科扬专利事务所 | 代理人 | 魏珊珊 |
| 地址 | 350100福建省福州市闽侯县上街镇海西高新技术产业园中科院海西研究院工作区3号楼726室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于532nm的偏振分束光栅，包括薄膜和固定在所述薄膜底部的介质基底；所述薄膜的沟槽形状为正弦槽型；所述薄膜的材质为金属材质；所述介质基底的材质为玻璃；所述薄膜的周期P的范围为266nm至532nm；所述薄膜的厚度T的范围为100nm至1um；所述薄膜的刻蚀深度H的范围为70nm至120nm。该偏振分束光栅可以对532nm激光实现偏振分束，把TE偏振光衍射至0级，衍射效率大于95%，把TM偏振光衍射至‑1级，衍射效率大于95%。 |
