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一种干式真空泵冷却系统

基本信息

申请号 CN202111595538.8 申请日 -
公开（公告）号 CN114396372A 公开（公告）日 2022-04-26
申请公布号 CN114396372A 申请公布日 2022-04-26
分类号 F04B39/06（2006.01）I;H02K9/19（2006.01）I 分类 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵;
发明人 孔祥玲;杨帆;王云;钟瑞;李鹏明 申请（专利权）人 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司
代理机构 南通国鑫智汇知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 王薇薇
地址 226300江苏省南通市南通高新区双福路西侧、文振路南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种干式真空泵冷却系统，涉及真空泵冷却技术领域，包括底座和从左到右依次设置于底座顶部的泵体、电机与循环冷却装置，泵体通过电机驱动，循环冷却装置中的冷却管分别设置于电机外壳和泵体的出气口处，电机右侧的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第一开启装置，泵体右上方的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第二开启装置。在本发明中，通过电机和泵体具体的热量情况，分别开启第一开启装置和第二开启装置中的阀门，自动控制电机和泵体所需冷却液的流量；且在阀门开启的同时带动水流检测机构，使得操作者实时监测电机和泵体所用冷却液具体的流量情况，避免出现缺少冷却液工作的现象。