一种具有排气口监测功能的罗茨真空泵
基本信息
| 申请号 | CN202111642594.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114483588A | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN114483588A | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | F04C29/12（2006.01）I;F04C29/00（2006.01）I;F04C29/06（2006.01）I;F04C28/28（2006.01）I;B01D50/60（2022.01）I;B01D46/681（2022.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 王光玉;徐静怡;王云;杨帆;张佳崎 | 申请（专利权）人 | 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司 |
| 代理机构 | 南通国鑫智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 226300江苏省南通市南通高新区双福路西侧、文振路南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有排气口监测功能的罗茨真空泵，涉及罗茨真空泵排气技术领域，包括底座、设于底座顶部的泵体、设于泵体顶部的进气管和设于泵体底部的排气管，排气管的外端安装有连通管，连通管的外端设有消音管，过滤腔内部灌注有净化液；过滤腔内部设有导流机构；连通管内部设有封堵机构；本发明通过连通管与封堵机构和导流机构的配合，便于对泵体所排出的气体进行粉尘含量监测，便于在气体中的粉尘含量超过标准阈值时能够对连通管进行自动封堵，使含粉尘量超标的气体输送至过滤腔内对气体进行净化处理，有效避免泵体所排出的高含粉尘量的气体对空气造成污染，延长了消声器的使用寿命；解决了现有真空泵在排气时易出现大量粉尘的问题。 |
