一种多级干式真空泵的水冷系统
基本信息
| 申请号 | CN200810013020.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101660532B | 公开（公告）日 | 2012-04-18 |
| 申请公布号 | CN101660532B | 申请公布日 | 2012-04-18 |
| 分类号 | F04C29/04(2006.01)I;F04B39/06(2006.01)I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 王光玉;秦柏林;房伟;郭丽娟 | 申请（专利权）人 | 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司 |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;中科仪（南通）半导体设备有限责任公司 |
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种多级干式真空泵的水冷系统。包括进水管路、出水管路，冷却水经进水管路流入，进水管路分为两路，一路冷却水进入进水管路冷却干泵排气口易发热部位轴承板，冷却水在内部循环后经出水管路流出；另一路冷却水进入进水管路，进入多级干泵的电机进行冷却，然后进入增压泵的电机，从电机流出后一路在增压泵上进行冷却，最后经排水管路流出，另一路直接接入出水管路。本发明的优点为：1.本发明对两个电机同时冷却，对增压泵和多级干泵可以选择冷却；2.本发明采用水流量计来控制进水流量大小并可自动报警；3.本发明通过电磁阀自动控制；4.本发明在管路上设置有两位三通阀，可选择是否对增压泵进行水冷。 |
