一种砷化镓晶片取放装置
基本信息
| 申请号 | CN201721475710.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207303070U | 公开（公告）日 | 2018-05-01 |
| 申请公布号 | CN207303070U | 申请公布日 | 2018-05-01 |
| 分类号 | H01L21/687 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王文昌;于会永;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军;赵春峰 | 申请（专利权）人 | 大庆佳昌晶能信息材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 163000 黑龙江省大庆市萨尔图区高新区新发街1-2号301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种砷化镓晶片取放装置，涉及砷化镓生产设备领域，包括夹臂A和夹臂B，二者的中部铰接相连形成钳形夹持机构，夹臂A和夹臂B的铰接轴处设置有使钳形夹持机构的钳口夹紧的扭力弹簧，夹臂A上与钳口对应的区段设置有软垫，所述的夹臂B上与钳口对应的区段设置有滑杆，滑杆滑动安装在夹臂B上的孔内，滑杆的一端铰接有夹紧块，滑杆的另一端设置有辊子，其中，夹紧块设置在夹臂B的内侧，所述的滑杆上套有可使夹紧块向远离夹臂A的方向运动的弹簧A。本实用新型采用了以滑杆和皮带为特征的夹紧机构，通过夹紧块的移动实现晶片的夹紧，晶片夹紧过程中，由与夹紧块施加的夹紧力是柔性的，因此对晶片的冲击极小，有效避免晶片被划伤损坏。 |
