一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置
基本信息
| 申请号 | CN201821944892.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209140708U | 公开（公告）日 | 2019-07-23 |
| 申请公布号 | CN209140708U | 申请公布日 | 2019-07-23 |
| 分类号 | B24B57/00 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王文昌;于会永;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 | 申请（专利权）人 | 大庆佳昌晶能信息材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 163000 黑龙江省大庆市高新区新发街1-2号301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及回收装置技术领域，尤其为一种用于安装在晶片抛光设备上的抛光液回收装置，包括回收装置主体、收集斗以及积液斗，所述回收装置主体内设有工作台，所述工作台底部固定安装有收集斗，所述收集斗底部固定安装有电机，所述电机顶部固定安装有连接轴，所述连接轴顶部固定安装有搅拌螺旋，所述工作台顶部外围平板之间固定安装有单向导槽，所述工作台顶部中心平板之间固定安装有双向导槽，所述单向导槽与双向导槽交叉口固定安装有漏孔，本实用新型通过设置的单向导槽以及双向导槽，在工作台顶部平板之间固定开设，将多余的抛光液导向漏孔，通过漏孔流入收集斗，将多余的抛光液聚集在收集斗内，使用时可以轻松收集抛光液并很好的聚集。 |
