一种用于砷化镓生产的热场装置
基本信息
| 申请号 | CN201721475709.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207418915U | 公开（公告）日 | 2018-05-29 |
| 申请公布号 | CN207418915U | 申请公布日 | 2018-05-29 |
| 分类号 | C30B29/42;C30B35/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王文昌;于会永;张军军;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋 | 申请（专利权）人 | 大庆佳昌晶能信息材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 163000 黑龙江省大庆市萨尔图区高新区新发街1-2号301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于砷化镓生产的热场装置，涉及砷化镓生产设备领域，包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒，电加热筒上设有用于将电加热筒连接在电路中的电极，所述的保温筒的下沿设置有托环，托环的外沿连接有吊绳，所述的炉体内侧的上沿设置有挂钩，所述的吊绳的上端挂在挂钩上，所述的保温筒的下方设置有保温板，保温筒的下沿设置有截面为梯形的环形凸起，环形凸起插装在保温板上的凹槽内，所述的电极的外侧设置有圆锥面，该圆锥面与保温板上的圆锥孔相匹配，从而实现对电加热筒的定位。本实用新型在保温筒底部设置了托环，通过吊绳可将托环连同保温筒一同吊起，与现有技术相比，可有效避免保温筒的损伤。 |
