高灵敏磁传感器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201480073021.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106104290B | 公开（公告）日 | 2019-06-04 |
| 申请公布号 | CN106104290B | 申请公布日 | 2019-06-04 |
| 分类号 | G01R33/07（2006.01）I; G01R33/09（2006.01）I; G06K7/00（2006.01）I; G06K19/07（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 时启猛; 王春华 | 申请（专利权）人 | 北京嘉岳同乐极电子有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100085 北京市海淀区信息路甲28号科实大厦B座10层A-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种高灵敏磁传感器，包括芯片(21)和封装基板(22)，芯片(21)包括衬底(31)以及设于所述衬底(31)的磁感应膜(32)和芯片焊盘(33)；所述磁感应膜(32)用于感应磁场并输出感应信号，所述芯片焊盘(33)作为所述芯片(21)的输入输出端与所述磁感应膜(32)对应电连接，所述磁感应膜(32)和所述芯片焊盘(33)设于所述衬底(31)的同一面；封装基板(22)上设有导电线路(26)，所述芯片焊盘(33)与所述导电线路(26)对应电连接；所述芯片(21)设置所述磁感应膜(32)的面朝向所述封装基板(22)叠置，而且所述芯片焊盘(33)与设于所述封装基板(22)表面的第一基板焊盘(24)对应电连接。该高灵敏磁传感器的灵敏度和一致性好，而且制作工艺简单，成品率高。 |
