一种翻转式溅射镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201410011791.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104775099B | 公开（公告）日 | 2017-05-17 |
| 申请公布号 | CN104775099B | 申请公布日 | 2017-05-17 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吕春哲;孙旭东 | 申请（专利权）人 | 中国光大银行股份有限公司烟台分行 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 265500 山东省烟台市福山高新区振华街859号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种镀膜机，尤其是一种用于晶片自动翻转的翻转式溅射镀膜机，包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板，治具架安装在固定旋转轴上，固定旋转轴安装在安装块的槽内，下面用转轮限位固定，固定旋转轴上设有两个2个V型槽，V型槽成180°分布，圆柱滚珠圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内，圆柱滚珠的柱面卡在固定旋转轴的一侧V型槽内，翻板固定在治具架需要翻转的位置，同时使翻板接触弧面和转轮弧面相切，该装置可用于溅射镀膜机镀膜过程中的晶片翻转，从而减少了镀膜过程中的工序，提高了工作效率，降低了生产成本。 |
