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高低温关节式流道装置

基本信息

申请号 CN202120098754.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214094020U 公开（公告）日 2021-08-31
申请公布号 CN214094020U 申请公布日 2021-08-31
分类号 F17D1/08（2006.01）I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 杨文宝 申请（专利权）人 天津金海通半导体设备股份有限公司
代理机构 天津企兴智财知识产权代理有限公司 代理人 苏冲
地址 300384天津市滨海新区高新区华苑产业区物华道8号A106
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种高低温关节式流道装置，包括节流通道及其两端分别安装的第一连接组件和第二连接组件，所述节流通道包括若干相互平行设置的通道组件，所述通道组件包括外夹板及其中部套接的转板，且相邻两个外夹板通过转板相连接，所述外夹板包括相互平行且对称设置的第一分流块和第二分流块，转板位于第一分流块和第二分流块之间。本实用新型所述的高低温关节式流道装置，可以兼容高低温气体预温方式及高低温液体预温方式，根据工况需求即可以进行小弯曲半径的往复运动，也可以在平面上进行X、Y方向运动，支持运动范围大。