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一种自调节封堵门检测芯片平整的装置

基本信息

申请号 CN202111625304.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113976460A 公开（公告）日 2022-01-28
申请公布号 CN113976460A 申请公布日 2022-01-28
分类号 B07C5/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 将固体从固体中分离；分选;
发明人 李星星;吕克振;杨文宝;方勇;张胜春 申请（专利权）人 天津金海通半导体设备股份有限公司
代理机构 天津企兴智财知识产权代理有限公司 代理人 陈雅洁
地址 300384天津市滨海新区华苑产业区物华道8号A106
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种自调节封堵门检测芯片平整的装置，包括底板，底板上方垂直安装进口侧板，进口侧板进料侧的中线处安装气缸，气缸的活动端固定连接至闸门连接块，闸门连接块下方通过销钉与闸门连接，使得闸门能够相对于销钉上下浮动以及转动，闸门连接块靠近进口侧板的固定安装柱塞架，柱塞架上对称设有弹簧柱塞，闸门左右两端对称安装随动轮，且随动轮延伸出闸门的底部，进口侧板出料侧的两端对称安装传感器，且传感器的高度可调，气缸和传感器均信号连接至外部的控制器。本发明所述的自调节封堵门检测芯片平整的装置，设置的闸门、闸门连接块和销钉可根据上料盘平面的倾斜度自适应调节倾斜角度，以达到良好的密封效果。