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一种高精度对准可随动自适应浮动吸头

基本信息

申请号 CN202110537547.5 申请日 -
公开（公告）号 CN112975792B 公开（公告）日 2021-09-07
申请公布号 CN112975792B 申请公布日 2021-09-07
分类号 B25B11/00 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 杨文宝;崔学峰;仇葳;贺怀珍;吕克振;孟飞;沈程 申请（专利权）人 天津金海通半导体设备股份有限公司
代理机构 天津企兴智财知识产权代理有限公司 代理人 陈雅洁
地址 300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区物华道8号A106
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种高精度对准可随动自适应浮动吸头，固定块上端位于承压块内部，且承压块与固定块相对运动，固定块两侧分别固定安装至外接设备，且承压块位于固定块与外接设备之间，气路块中部设有第一安装孔，固定块下端外围位于第一安装孔内，气路块一侧安装气接头，吸杆的上端卡接至固定块内部，吸杆的下端穿过第一安装孔后固定连接至吸头的上端，吸头的下端依次穿过底座、盖板后接触连接至芯片，底座的两端分别固定连接至气路块的下端、盖板的上端。本发明所述的一种高精度对准可随动自适应浮动吸头，在吸料过程中可以防止装置移动对芯片产生冲击，定位高精度高，且本装置结构兼容芯片范围广、满足大压力测试，自适应兼容性强。