一种精确测量微米级镀膜层硬度的测试方法

基本信息

申请号 CN202210310488.2 申请日 -
公开(公告)号 CN114563292A 公开(公告)日 2022-05-31
申请公布号 CN114563292A 申请公布日 2022-05-31
分类号 G01N3/42(2006.01)I;G01N3/02(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 仵永刚;苗红梅;杨争;曾朝凡;邢珲珲;陈翠丽 申请(专利权)人 洛阳LYC轴承有限公司
代理机构 洛阳明律专利代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 471039河南省洛阳市涧西区建设路96号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于零件表面检测技术领域,提出一种精确测量微米级镀膜层硬度的测试方法。提出的一种精确测量微米级镀膜层硬度的测试方法通过显微维氏硬度计和扫描电子显微镜的低、高倍观察测量配合使用,对镀膜层厚度≤10μm的膜层硬度得到精确测量;在显微维氏硬度计上,采用合适的加载载荷完成对给定零件表面硬度的压头压入测试,准确标记压头压入位置,记录测试参数;将完成硬度检测的试样放置在扫描电子显微镜下,观察压痕形状并测量压痕尺寸,根据镀膜层硬度与压入载荷、压痕大小的关系,利用显微维氏硬度计算公式得出镀膜层显微硬度。本发明具有操作简单,检测结果准确度和精确度高等特点。