一种真空腔内转动部件的定位装置
基本信息
| 申请号 | CN201210390288.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102881547B | 公开（公告）日 | 2015-07-08 |
| 申请公布号 | CN102881547B | 申请公布日 | 2015-07-08 |
| 分类号 | H01J37/244(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王佳;刘训春;席峰;夏洋 | 申请（专利权）人 | 北京中科泰龙电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 | 代理人 | 中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司 |
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空腔内转动部件的定位装置，属于微电子技术领域。所述装置包括：激光反射装置、密封部件、腔体外玻璃密封件和密封框架；激光反射装置位于反应室内，并与密封框架的顶端通过螺纹连接；密封框架由下向上装入反应室，并通过螺钉与反应室固定连接；腔体外玻璃密封件与密封框架的底端通过螺纹连接；反应室与密封框架连接之处设置有密封部件；腔体外玻璃密封件与密封框架底端连接之处设置有密封部件和玻璃。本发明的定位装置用于溅射台中，特别是在有污染和高温的真空环境下，可以实现高速转动部件的高精度定位，且装置结构简单、成本低廉、可操作性强、精度高及维护性好。 |
