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一种射频阻抗自动匹配装置及方法

基本信息

申请号 CN201210392259.6 申请日 -
公开（公告）号 CN102891661B 公开（公告）日 2016-03-09
申请公布号 CN102891661B 申请公布日 2016-03-09
分类号 H03H7/38(2006.01)I 分类 基本电子电路;
发明人 王佳;刘训春 申请（专利权）人 北京中科泰龙电子技术有限公司
代理机构 北京华沛德权律师事务所 代理人 中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种射频阻抗自动匹配装置及方法，属于微电子技术领域。所述装置包括：第一及第二真空电容检测机构、第一及第二信号变送器、功率计和单片机。第一、第二真空电容检测机构的输出端分别与第一信号变送器电连接，功率计与第二信号变送器电连接，单片机的输入端分别与第一信号变送器和第二信号变送器的输出端电连接，单片机的控制输出端分别与第一、第二真空电容检测机构的输入端电连接。本发明还提供了上述射频阻抗自动匹配装置的匹配方法。本发明可以使匹配过程自动、迅速，同时兼容人工手动操作，可以实现自动和人工手动操作达到匹配负载的目的。